Phạm vi các mô hình có khoảng cách trung tâm đo từ 20 đến 1.500 mm.
Đạt được độ phân giải tối đa 0,25 μm.
Tốc độ phản hồi tối đa 110 μs.
Hỗ trợ đầu ra song song.
Độ phân giải di chuyển (sai số dựa trên vị trí bề mặt phôi) đã được giảm đáng kể bằng cách tối ưu hóa hệ thống quang học với tăng độ nhạy và độ phân giải của thấu kính nhận ánh sáng.
